Задача HXCX-033: Допустимое давление в установке магнетронного напыления

На фотографии представлена установка магнетронного напыления (Magnetron Sputtering Coating Machine). Для работы таких установок критически важно создание условий высокого вакуума. Допустимое содержание (давление) атмосферного воздуха в установке: 1. Предельный (базовый) вакуум: Перед началом процесса напыления из камеры необходимо откачать атмосферный воздух до давления порядка \( 10^{-3} \) — \( 10^{-5} \) Па (паскаль). Это нужно для удаления паров воды, кислорода и азота, которые могут загрязнить напыляемую пленку. 2. Рабочее давление: В процессе самого напыления в камеру напускается инертный рабочий газ (обычно аргон \( Ar \)). Рабочее давление при этом поддерживается в диапазоне: \[ P_{work} \approx 0,1 \dots 1,0 \text{ Па} \] (или от \( 10^{-3} \) до \( 10^{-2} \) мм рт. ст.). 3. Допустимое загрязнение: Содержание остаточных газов атмосферного воздуха (кислорода) во время процесса не должно превышать \( 0,01\% \), иначе свойства получаемого покрытия (проводимость, блеск, адгезия) резко ухудшатся. Краткий ответ для тетради: Для качественной работы установки магнетронного напыления HXCX-033 необходимо предварительное вакуумирование до давления \( P \le 10^{-3} \) Па. Рабочее давление аргона при напылении составляет обычно \( 0,1 \dots 0,8 \) Па. Наличие атмосферного воздуха в камере во время процесса является недопустимым загрязнением.