Какое допустимое натекание воздуха в установке HXCX-033?

Для вакуумных установок магнетронного напыления, таких как HXCX-033, критически важным параметром является герметичность камеры. Натекание — это количество газа, проникающее в вакуумную систему в единицу времени. Допустимое натекание атмосферного воздуха: 1. Общее правило: Натекание должно быть таким, чтобы за время проведения технологического процесса давление в камере не поднималось выше уровня, при котором начинаются нежелательные химические реакции (окисление). 2. Количественный показатель: Для промышленных установок напыления хорошим показателем считается скорость натекания (газовыделения), не превышающая: \[ Q \le 1 \cdot 10^{-6} \dots 1 \cdot 10^{-7} \frac{\text{Па} \cdot \text{м}^3}{\text{с}} \] 3. Практическая проверка (для записи в тетрадь): На практике герметичность проверяют по скорости роста давления в изолированной камере (после выключения насосов). Допустимым считается рост давления не более чем на: \[ \Delta P \le 0,1 \dots 0,5 \text{ Па за 1 час} \] (в зависимости от объема камеры и требований к чистоте покрытия). Если натекание выше, то кислород и азот из воздуха будут вступать в реакцию с распыляемым металлом, что приведет к браку: пленка станет хрупкой, изменит цвет или потеряет электропроводность. Вывод: Для обеспечения высокого качества покрытий, сопоставимого с лучшими мировыми и отечественными стандартами, натекание должно быть минимальным и обеспечивать стабильность вакуума в пределах \( 10^{-3} \) Па перед началом напуска рабочего газа.