Допустимое натекание воздуха в установке HXCX-033

Для перевода величины натекания в единицы \( \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \) (литр-микрон ртутного столба в секунду), воспользуемся соотношениями между единицами давления. 1. Сначала определим связь между Паскалем (\( \text{Па} \)) и микроном ртутного столба (\( \text{мкм рт. ст.} \)): \[ 1 \text{ мм рт. ст.} \approx 133,3 \text{ Па} \] \[ 1 \text{ мкм рт. ст.} = 10^{-3} \text{ мм рт. ст.} \approx 0,1333 \text{ Па} \] 2. Переведем стандартную норму натекания для установок такого класса из системы СИ. Хорошим показателем считается натекание порядка: \[ Q = 1 \cdot 10^{-4} \frac{\text{Па} \cdot \text{м}^3}{\text{с}} \] 3. Так как \( 1 \text{ м}^3 = 1000 \text{ литров} \), то: \[ 1 \cdot 10^{-4} \frac{\text{Па} \cdot \text{м}^3}{\text{с}} = 0,1 \frac{\text{Па} \cdot \text{л}}{\text{с}} \] 4. Теперь переведем Паскали в микроны ртутного столба, разделив на \( 0,1333 \): \[ \frac{0,1}{0,1333} \approx 0,75 \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \] Запись в тетрадь: Допустимое натекание для вакуумной установки магнетронного напыления составляет примерно: \[ Q \le 0,5 \dots 1,0 \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \] Для получения особо чистых пленок и обеспечения технологического суверенитета производства, рекомендуется стремиться к показателю: \[ Q < 0,1 \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \] Это значение гарантирует, что концентрация примесей атмосферного воздуха в плазме аргона будет ничтожно мала и не повлияет на физико-химические свойства наносимого слоя.