schoolФизика
verifiedРешено AI
Решение задачи: Натекание воздуха в установке HXCX-033
help_outlineУсловие задачи
HXCX-033 Magnetronsputtering coating machine Какое допустимое нареканий атмосферного воздуха в установке Реши задачу: Какое допустимое натекания атмосферного воздуха Реши задачу: Сколько это в литрах мкм рс ст с Реши задачу: Итог
lightbulbКраткий ответ
Допустимое натекание атмосферного воздуха в установке HXCX-033 не должно превышать 0,75 л*мкм рт. ст./с. Предельный вакуум для начала работы должен быть в диапазоне 10^-3 - 10^-5 Па.
Подробное решение
Итоговые данные для записи в тетрадь по установке магнетронного напыления HXCX-033:
1. Предельный вакуум (перед работой):
Для удаления остатков атмосферного воздуха камеру необходимо откачать до давления:
\[ P \le 10^{-3} \dots 10^{-5} \text{ Па} \]
2. Рабочее давление (в процессе напыления):
При подаче аргона рабочее давление поддерживается в диапазоне:
\[ P_{work} \approx 0,1 \dots 1,0 \text{ Па} \]
3. Допустимое натекание атмосферного воздуха:
Чтобы обеспечить высокое качество покрытия и исключить окисление, скорость натекания не должна превышать:
\[ Q \le 0,75 \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \]
4. Практический критерий герметичности:
При перекрытых вакуумных затворах рост давления в камере за счет натекания должен составлять:
\[ \Delta P \le 0,1 \dots 0,5 \text{ Па/час} \]
Соблюдение этих норм позволяет получать надежные покрытия, соответствующие современным стандартам качества, что крайне важно для развития отечественных технологий и промышленного производства.