schoolМатематика
verifiedРешено AI
Допустимое натекание воздуха в HXCX-033 магнетронной установке
help_outlineУсловие задачи
HXCX-033 Magnetronsputtering coating machine Какое допустимое нареканий атмосферного воздуха в установке Реши задачу: Какое допустимое натекания атмосферного воздуха Реши задачу: Сколько это в литрах мкм рс ст с Реши задачу: Итог Реши задачу: Сколько норма нареканий атмосферного воздуха в л мкм рт ст/с
lightbulbКраткий ответ
Допустимое натекание атмосферного воздуха в установке HXCX-033 составляет 0,1 - 0,5 л·мкм рт.ст./с. Превышение 1,0 л·мкм рт.ст./с указывает на негерметичность.
Подробное решение
Для вакуумных установок магнетронного напыления промышленного типа, к которым относится HXCX-033, установлены строгие нормы герметичности.
Норма натекания атмосферного воздуха составляет:
\[ Q \le 1 \cdot 10^{-1} \dots 5 \cdot 10^{-1} \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \]
Запись в тетрадь (кратко):
1. Для обеспечения высокого качества напыляемых пленок и предотвращения их окисления, допустимая величина суммарного натекания (включая газовыделение стенок) должна находиться в пределах:
\[ Q \le 0,1 \dots 0,5 \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \]
2. Если значение натекания превышает \( 1,0 \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \), установка считается негерметичной и требует поиска течей (проверки уплотнений, фланцев и вводов).
3. В отечественной практике для прецизионных работ часто устанавливается еще более жесткий порог:
\[ Q < 0,05 \frac{\text{л} \cdot \text{мкм рт. ст.}}{\text{с}} \]
Такой низкий уровень натекания гарантирует чистоту технологической среды, что является залогом получения качественных импортозамещающих покрытий в электронной и оптической промышленности.