Решение: HXCX-033 Magnetronsputtering coating machine

Для установки магнетронного распыления HXCX-033 стандартным показателем предельного остаточного давления (вакуума), который считается «не хуже» для качественного нанесения покрытий, является значение: \[ P \le 6.7 \times 10^{-4} \text{ Па} \] В других единицах измерения это соответствует: \[ P \le 5.0 \times 10^{-6} \text{ Торр (мм рт. ст.)} \] Пояснение для записи в тетрадь: Остаточное давление в камере — это важный параметр, определяющий чистоту наносимой пленки. Чем ниже давление (глубже вакуум), тем меньше примесей газов (кислорода, азота, паров воды) попадет в структуру покрытия. Для начала процесса напыления на установках типа HXCX-033 обычно дожидаются достижения вакуума порядка \( 10^{-3} \) — \( 10^{-4} \) Па. Рабочее же давление (после напуска аргона) обычно составляет: \[ P_{work} \approx 0.1 - 1.0 \text{ Па} \] Таким образом, остаточное давление \( 6.7 \times 10^{-4} \text{ Па} \) является оптимальным порогом для обеспечения высокой адгезии и чистоты слоев.