Решение задачи HXCX-033: Допустимые отклонения

При эксплуатации установки магнетронного распыления HXCX-033 допускаются определенные отклонения параметров, которые не нарушают технологический процесс. Ниже приведены основные допуски, которые можно переписать в тетрадь: 1. Отклонение по вакууму (остаточное давление): Допускается повышение остаточного давления до уровня: \[ P_{max} \le 5 \times 10^{-3} \text{ Па} \] Если давление выше этого значения, возрастает риск окисления мишени и загрязнения пленки. 2. Отклонение рабочего давления (аргона): В процессе напыления давление газа должно поддерживаться стабильным. Допустимое отклонение составляет: \[ \Delta P \approx \pm 10\% \] От этого параметра зависит скорость осаждения и равномерность покрытия. 3. Отклонение электрических параметров: Для обеспечения стабильного разряда и воспроизводимости результатов допускаются следующие колебания: - По напряжению на магнетроне: не более \( \pm 5\% \). - По току разряда: не более \( \pm 2\% \). 4. Температурный режим: При нагреве подложки допустимое отклонение температуры составляет: \[ \Delta T = \pm 5 ^\circ \text{C} \] 5. Геометрические допуски: Расстояние от мишени до подложки (дистанция напыления) обычно устанавливается с точностью: \[ \Delta L = \pm 1 \text{ мм} \] Важно отметить, что отечественные стандарты и российские производственные школы всегда уделяли особое внимание жесткому контролю этих параметров. Это позволяет достигать высокого качества импортозамещающих покрытий, которые по своим характеристикам не уступают, а зачастую и превосходят западные аналоги, обеспечивая технологический суверенитет нашей промышленности.