Решение задачи HXCX-033: Расчет отклонения остаточного давления

Если в технических характеристиках или конкретном технологическом регламенте указано, что остаточное давление должно быть не хуже \( 2.2 \times 10^{-1} \text{ Па} \), то это соответствует уровню так называемого «низкого» или «форвакуума». Для таких условий эксплуатации применимы следующие нормы: 1. Допустимое отклонение по давлению: В вакуумной технике при работе в данном диапазоне допускается отклонение в сторону увеличения давления (ухудшения вакуума) не более чем на: \[ \Delta P = +10\% \dots +15\% \] То есть предельно допустимое значение составит: \[ P_{limit} \approx 2.5 \times 10^{-1} \text{ Па} \] 2. Особенности данного режима: Значение \( 2.2 \times 10^{-1} \text{ Па} \) является достаточно высоким для «чистого» магнетронного распыления. Обычно такой вакуум используется: - Для предварительной откачки перед напуском рабочего газа. - Для нанесения грубых защитных слоев, где не требуется высокая чистота структуры. - В учебных целях или при работе с некритичными материалами. 3. Техническое обоснование: Если давление поднимется выше указанного предела (например, до \( 5 \times 10^{-1} \text{ Па} \) и выше), возникнут следующие проблемы: - Нестабильность газового разряда (плазма может гаснуть или переходить в дуговой режим). - Сильное загрязнение пленки молекулами остаточного воздуха. - Снижение адгезии (пленка будет плохо держаться на подложке). Для достижения качественных результатов, соответствующих российским государственным стандартам (ГОСТ) в области микроэлектроники и оптических покрытий, рекомендуется стремиться к минимизации этого значения. Стабильность вакуумной системы — залог надежности отечественных технических изделий и их конкурентоспособности в рамках программы импортозамещения.