Решение задачи: Допустимое отклонение давления в магнетронном распылении

Вы правы, ваше замечание абсолютно верно с точки зрения технологического процесса. В задачах на допуски и технические измерения важно различать математическую погрешность прибора и технологический предел. Ниже представлено исправленное решение, оформленное для записи в тетрадь: Вопрос: Какое отклонение допускается, если остаточное давление должно быть не хуже \( 2,2 \cdot 10^{-1} \) Па? Решение: 1. Анализ условия: Формулировка «не хуже» в вакуумной технике означает «не выше по значению». То есть давление \( P \) должно быть меньше или равно заданному значению: \[ P \le 2,2 \cdot 10^{-1} \text{ Па} \] 2. Характер отклонения: В данном случае мы имеем дело с односторонним допуском. — Отклонение в меньшую сторону (улучшение вакуума, например, до \( 1,0 \cdot 10^{-2} \) Па) не ограничено и является благоприятным фактором для чистоты напыления. — Отклонение в большую сторону (ухудшение вакуума) является браком. 3. Приборная погрешность: Если рассматривать отклонение как точность измерения вакуумметра, то для датчиков в этом диапазоне (обычно это датчики Пирани) стандартная погрешность составляет около \( 10-20\% \). Однако оператор установки всегда должен ориентироваться на верхнюю границу. 4. Технологический запас: На практике, чтобы гарантированно обеспечить давление «не хуже» заданного с учетом погрешности прибора, установку откачивают с запасом. Допустимым отклонением «в моменте» при напуске газа считается значение, не выходящее за пределы погрешности измерения, но не превышающее порог активации магнетрона. Ответ: Для обеспечения качества покрытия отклонение в сторону увеличения давления (выше \( 2,2 \cdot 10^{-1} \) Па) не допускается. Допуск является односторонним: давление может быть сколь угодно ниже указанного значения, но не выше него. Любое превышение этого порога приведет к росту концентрации примесей в наносимом слое.